| 发明名称 | 一种片盒垂直升降装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种片盒垂直升降装置，包括：安装法兰、升降波纹管、升降套筒、连接件和竖直安装的直线电机；所述升降波纹管的上端与片盒连接，所述升降波纹管的下端与所述安装法兰连接；所述升降套筒的上端与所述升降波纹管相连，所述升降套筒的下端与所述连接件相连，所述直线电机与所述连接件相连；所述直线电机驱动所述连接件沿竖直方向做直线运动，所述连接件推动所述升降套筒带动所述升降波纹管运动，进而带动所述片盒沿竖直方向上升或下降。本发明一方面简化了整个升降装置驱动部分的机构，便于拆装，方便维护；另一方面还可以消除中间环节所带来的各种定位误差，提高了装置的定位精度。 | ||
| 申请公布号 | CN104140062A | 申请公布日期 | 2014.11.12 |
| 申请号 | CN201310168503.5 | 申请日期 | 2013.05.06 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 张新云 |
| 分类号 | B66F7/12(2006.01)I;B66F7/28(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | B66F7/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人 | 苏培华 |
| 主权项 | 一种片盒垂直升降装置，其特征在于，包括：安装法兰、升降波纹管、升降套筒、连接件和竖直安装的直线电机；所述升降波纹管的上端与片盒连接，所述升降波纹管的下端与所述安装法兰连接；所述升降套筒的上端与所述升降波纹管相连，所述升降套筒的下端与所述连接件相连，所述直线电机与所述连接件相连；所述直线电机驱动所述连接件沿竖直方向做直线运动，所述连接件推动所述升降套筒带动所述升降波纹管运动，进而带动所述片盒沿竖直方向上升或下降。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号 | ||