位移传感器

摘要

作为表示使位移传感器（1）动作的条件的参数而输入响应时间的目标值以及检测误差的允许值中的至少一个值，来进行利用工件的模型的示教处理。示教处理时的CPU（110），一边反复通过投光部（101）以及受光部（102）进行检测处理一边决定最大曝光时间，并且算出位移量的测量数据的差量，通过利用最大曝光时间以及测量数据的差量的运算处理，导出与被输入的参数的值相匹配的移动平均值运算的数据数量。将该数据数量记录在存储器（111）中，并在通常的动作模式下的移动平均值运算中使用。

主权项

一种位移传感器，一边反复执行向对象物投射光且接收该光被对象物反射的反射光的检测处理、基于接收所述反射光的受光结果来测量对象物的位移量的测量处理、对所述测量的数据的移动平均值运算，一边输出检测数据，该检测数据是通过移动平均值运算得到的平均值的数据，其特征在于，所述位移传感器具有：记录单元，用于记录所述移动平均值运算的数据数量，输入单元，用于输入表示与位移传感器的响应时间相关的条件的参数以及表示与检测数据的精度相关的条件的参数，示教模式执行单元，执行将所述移动平均值运算的数据数量记录在所述记录单元中的示教模式；所述示教模式执行单元具有：设定处理单元，执行第一处理和第二处理，该第一处理是指，分别将所述检测处理和测量处理执行多次，并对所述检测处理的处理时间进行设定的处理，该第二处理是指，求出通过所述测量处理得到的测量数据的差量的处理，数据数量导出单元，以向输入单元输入表示与所述响应时间相关的条件的参数以及表示与检测数据的精度相关的条件的参数中的至少一个参数，并通过所述设定处理单元执行了处理为条件，该数据数量导出单元通过利用所述设定处理单元的处理结果的运算处理，求出与所输入的所述参数的值相匹配的移动平均值运算的数据数量，记录处理单元，基于所述数据数量导出单元的处理结果，决定所述移动平均值运算的数据数量，并将该数据数量记录在所述记录单元中；所述输入单元，作为表示与所述响应时间相关的条件的参数而输入表示该响应时间的目标值的数值，并且作为与检测数据的精度相关的参数而输入表示检测数据的误差的允许值的数值，作为所述运算处理，所述数据数量导出单元利用第一算式和第二算式中的至少一个算式来进行运算，其中，该第一算式表示所述检测处理的处理时间、移动平均值运算的数据数量和响应时间之间的关系，该第二算式表示测量数据的差量、移动平均值运算的数据数量和检测数据的误差之间的关系。