发明名称 |
新型真空微漏检测方法 |
摘要 |
本发明公开了一种新型真空微漏检测方法,包括以下步骤:将被测真空器件连接在真空排气台上,启动真空排气台,使被检测真空器件内的大气压力达到10Pa以下;用注射器吸取浓度为98%酒精,并将浓度为98%酒精滴在被检测真空器件的任意部位上,如被检测真空器件内的大气压力迅速升高,则说明检测的部位是微露点。达到提高工作效率,节约资源并保护环境的目的。 |
申请公布号 |
CN104142216A |
申请公布日期 |
2014.11.12 |
申请号 |
CN201410377213.6 |
申请日期 |
2014.08.04 |
申请人 |
无锡日联科技有限公司 |
发明人 |
刘骏;吴爱军;王刘成 |
分类号 |
G01M3/26(2006.01)I |
主分类号 |
G01M3/26(2006.01)I |
代理机构 |
北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 |
代理人 |
宋敏 |
主权项 |
一种新型真空微漏检测方法,其特征在于,包括以下步骤:将被测真空器件连接在真空排气台上,启动真空排气台,使被检测真空器件内的大气压力达到10Pa以下;用注射器吸取浓度为98%酒精,并将浓度为98%酒精滴在被检测真空器件的任意部位上,如被检测真空器件内的大气压力迅速升高,则说明检测的部位是微露点。 |
地址 |
214000 江苏省无锡市新区鸿山街道锡协路208-7号 |