晶圆状物件之固持装置

摘要

一种用以固持晶圆状物件如半导体晶圆等之装置，其配备了一套插销，用来在一共用的齿轮环或一套相连操作的齿轮段控制下，使其与晶圆状物件之外周边缘接触。在齿轮环或齿轮段与插销组件囓合之区域，将这些元件设计成能比齿轮环或齿轮段的其余区域更容易变形，以调节在插销组件附近的夹具元件之不同热膨胀。

主权项

一种晶圆状物件之固持装置，包含：复数之可移动接触元件，具有：一突出部，与晶圆状物件接触；及一安装部，以嵌进该装置之本体内；一齿轮机构，以在第一位置与第二位置之间同步驱动该等可移动接触元件，该第一位置为该等可移动接触元件与位在该固持装置上的晶圆状物件接触之位置，而该第二位置为非接触位置；其中，该齿轮机构在与该复数之接触元件其中之一接触的至少一区域包含一结构，该结构使该齿轮机构对于该复数之接触元件的横向位移，比该齿轮机构之邻接于该至少一区域的其他区域更容易变形，其中该齿轮机构包含一具有轮齿之齿轮机构本体，该轮齿系平行于该齿轮机构本体内的一长形槽。