具有微细接触力调整机构之接触式量测装置

摘要

在安装于探针的接触头与量测对象之面互相接触的状态下利用该探针之位移来进行量测之接触式量测装置中，对于该探针之中心轴与重力方向所成角度、该探针之位移、用来对于该探针赋予推出力或拉力的流体压力、与探针对于量测对象之接触力，记忆其间的对应关系，并依据该资料来控制前述流体压力或前述探针之位移，藉以自动地正确调整探针对于量测对象之微细接触力。

主权项

一种接触式量测装置，系由3轴以上的移动轴与1轴以上的旋转轴所构成，且探针以该探针的中心轴方向可相对于重力方向改变成任意角度的方式安装在其中任一旋转轴上，并依据量测程式来控制该3轴以上的移动轴与1轴以上的旋转轴，以在安装于该探针的接触头与该量测对象之面互相接触的状态下，且以该探针之中心轴与该量测对象之面呈垂直的方式，使量测对象之面的位置与该探针的接触头之位置相对移动，而利用该探针之位移来进行该量测对象之面的形状量测，其包含：探针本体，利用流体轴承支持探针；流体压力控制部，藉由电动气动调节器控制该探针本体内的流体压力以对该探针赋予拉力或推出力；距离调整部，具有安装于该探针本体的可动部；永久磁铁，安装于该距离调整部的该可动部；推吸构件，安装于该探针之安装有该接触头之侧的相反侧，在其与该可动部的该永久磁铁之间产生推斥力或吸引力；角度运算部，求取该探针之中心轴与重力方向所成角度；记忆部，记忆有预先测定好的该探针之中心轴与重力方向所成角度、该探针之位移、该流体压力以及该探针对于量测对象之接触力间关系的资料；以及接触力控制部，依据记忆在该记忆部的资料，从该角度运算部所求出的角度，求出将探针本身重量所致接触力变化加以抵销的流体压力之值，控制流体压力控制部成为该流体压力之值，或者依据记忆在该记忆部的资料，从该角度运算部所求取的角度，求出在流体压力固定时将探针本身重量所致接触力变化加以抵销的探针位移之值，在该角度的方向上移动控制该探针成为该探针之位移之值；且抵销该探针角度变化所致重力影响变化，以使该探针之对于该量测对象之面之接触力维持在预先设定的接触力。