| 发明名称 |
电子元件及其制造方法 |
| 摘要 |
一种电子元件，其包括提供于基板上且包括钼铌合金的第一电极、配置于第一电极上的绝缘膜及配置于第一电极上的第二电极，其中至少此绝缘膜插入于第一电极与第二电极之间。并且，提供一种电子元件的制造方法。 |
| 申请公布号 |
TWI460856 |
申请公布日期 |
2014.11.11 |
| 申请号 |
TW099121671 |
申请日期 |
2010.07.01 |
| 申请人 |
富士软片股份有限公司 日本 |
发明人 |
油屋吉宏;八重樫裕之 |
| 分类号 |
H01L29/49;H01L21/28;H01L29/40 |
主分类号 |
H01L29/49 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
一种电子装置，包括：一第一电极，提供于一基板上且包括一钼铌合金，其中该第一电极的边缘横切面的倾斜角度为小于50°且表面粗糙度Ra小于等于0.6nm；一绝缘膜，配置于该第一电极上；以及一第二电极，相对于该第一电极至少隔着该绝缘膜进行配置。 |
| 地址 |
日本 |
