一种TEM衍射斑点图锐利化处理方法

摘要

本发明公开一种TEM衍射斑点图锐利化处理方法，包括以下步骤：a、对TEM样品进行拍摄，获得TEM衍射图谱；b、使用中心旋转平均法将所述TEM衍射图谱转换为径向强度分布曲线；c、使用对称法将所述TEM衍射图谱中心斑点形成的半个中心峰进行镜面对称，形成一个完整的峰；d、再用高斯峰拟合完整的中心峰，得到所需的点扩散函数；e、利用最大熵原理或最大似然法处理所述径向强度分布曲线，得到锐利化的衍射峰；f、测量锐利化的衍射峰的位置。本发明所述方法的测量结果准确，特别是在用TEM衍射法测量晶格常数或晶面间距时能提高测量精度，对于微区相分析和纳米束应变分析都有很大帮助。

主权项

一种TEM衍射斑点图锐利化处理方法，其特征在于，包括以下步骤：a、使用选区衍射或纳米束衍射方法对TEM样品进行拍摄，获得TEM衍射图谱；b、使用中心旋转平均法将所述TEM衍射图谱转换为径向强度分布曲线；c、使用对称法将所述TEM衍射图谱中心斑点形成的半个中心峰进行镜面对称，形成一个完整的峰；d、再用高斯峰拟合完整的中心峰或其它衍射峰，得到所需的点扩散函数；e、使用步骤d中获得的点扩散函数，利用最大熵原理或最大似然法处理所述径向强度分布曲线，处理后所述径向强度分布曲线中的衍射峰会被锐利化；f、测量锐利化之后的衍射峰的位置，以提高晶格测量的准确度。