单晶炉热场及具有该单晶炉热场的单晶炉

摘要

本实用新型公开的单晶炉热场，包括位于坩埚上方的热屏以及独立于热屏、同轴设置于热屏内侧的热屏冷却件，热屏冷却件可相对于坩埚升降。本实用新型还公开具有该单晶炉热场的单晶炉，包括单晶炉壳体、坩埚和上述的单晶炉热场，坩埚和单晶炉热场均容置于单晶炉壳体内。本实用新型的单晶炉热场及具有该单晶炉热场的单晶炉中的热屏冷却件，可吸收单晶生长时释放的结晶潜热、有效地提高单晶生长速度，一旦发生损坏，也便于维修，并且，该热屏冷却件可相对于坩埚升降，在加料时升起该热屏冷却件，可避免溅硅，确保拉晶过程的安全与稳定。

主权项

单晶炉热场，包括位于坩埚上方的热屏，其特征在于，所述单晶炉热场还包括独立于所述热屏、同轴设置于所述热屏内侧的热屏冷却件，所述热屏冷却件可相对于坩埚升降。