一种适用于RTR阴极导电轮防上铜结晶的电镀设备

摘要

本实用新型提供一种适用于RTR阴极导电轮防上铜结晶的电镀设备，包括酸洗槽、电镀槽、基板，所述酸洗槽内设有阴极导电轮，所述阴极导电轮包括上阴极导电轮和下阴极导电轮，所述上阴极导电轮位于所述基板上方并与所述基板上表面贴合，所述下阴极导电轮位于所述基板下方并与所述基板下表面贴合，所述上阴极导电轮上方设有喷管，所述喷管通过一管道与所述酸洗槽连接，所述管道上设有水泵，所述下阴极导电轮下方设有浸泡盒，所述浸泡盒位于所述酸洗槽内，该新型电镀设备的上阴极导电轮和下阴极导电轮表面不会上铜或结晶，能防止对基板产生损伤，能提高电镀板面质量。

主权项

一种适用于RTR阴极导电轮防上铜结晶的电镀设备，其特征在于：包括酸洗槽、电镀槽、基板，所述酸洗槽内设有阴极导电轮，所述阴极导电轮包括上阴极导电轮和下阴极导电轮，所述上阴极导电轮位于所述基板上方并与所述基板上表面贴合，所述下阴极导电轮位于所述基板下方并与所述基板下表面贴合，所述上阴极导电轮上方设有喷管，所述喷管通过一管道与所述酸洗槽连接，所述管道上设有水泵，所述下阴极导电轮下方设有浸泡盒，所述浸泡盒位于所述酸洗槽内。