单源闪蒸法生长有机无机杂化钙钛矿材料及其平面型太阳能电池的制备方法

摘要

本发明涉及一种单源闪蒸法生长有机无机杂化钙钛矿材料及其平面型太阳能电池的制备方法，属于新型材料器件制造工艺领域。其中有机无机杂化钙钛矿薄膜制备方法是：用钙钛矿材料的溶液做单一蒸发源，采用小于1秒的时间将金属蒸发舟迅速加热至1000℃以上的温度，可制备出成份准确的有机无机杂化钙钛矿薄膜。采用单源闪蒸法制备的有机无机杂化钙钛矿薄膜具有蒸发速率快，薄膜无空洞，适合做平面型器件的特点。并采用TiO₂或ZnO为n型材料，Spiro-OMeTAD为p型材料与i型的有机无机杂化钙钛矿薄膜一起构成p-i-n型平面太阳能电池器件，优化制备条件后可获得效率为6.26%的器件。

主权项

一种单源闪蒸法生长有机无机杂化钙钛矿材料及其平面型太阳能电池的制备方法，其特征在于，具有如下工艺过程和步骤：a、    将透明导电玻璃进行预处理；b、    在透明导电玻璃上沉积n型TiO₂或ZnO，然后放入真空蒸发设备的样品台上作为衬底；c、    把有机无机杂化钙钛矿材料溶解于有机溶剂中，制备成有机无机杂化钙钛矿溶液或粉末；d、    将金属蒸发舟进行预处理；e、    将有机无机杂化钙钛矿溶液或粉末均匀的平铺于金属蒸发舟上；f、    在蒸发室气压低于5×10^‑3Pa的真空或惰性气体或氮气气氛的条件下，通过闪蒸法将有机无机杂化钙钛矿蒸镀到衬底上，形成薄膜；g、    将蒸镀完成的薄膜进行后期退火处理；h、    在制备好的有机无机杂化钙钛矿薄膜材料上旋涂空穴传输层；i、    蒸镀电极，获得平面型有机无机杂化钙钛矿太阳能电池。