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发明名称 エアロゾルデポジション装置及びエアロゾルデポジション方法
摘要
申请公布号 JP5617291(B2) 申请公布日期 2014.11.05
申请号 JP20100063601 申请日期 2010.03.19
申请人 发明人
分类号 C23C24/04 主分类号 C23C24/04
代理机构 代理人
主权项
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