一种双工作模式MEMS光学探头

摘要

本发明公布了一种双工作模式MEMS光学探头，包括带有窗口座的探头管壳和设于所述探头管壳内的探头主体，探头主体包括主体基座、带基座的MEMS微镜、与光纤连接的第一透镜组件和第二透镜组件；与外部驱动电路电连接的MEMS微镜固定于所述主体基座前端；第一透镜组件固定与所述主体基座一侧，其通过MEMS微镜的横向偏转实现前向或侧前向扫描光束的前向扫描或侧前向扫描；所述第二透镜组件固定于所述主体基座另一侧，其通过MEMS微镜的横向偏转实现侧向扫描光束的侧向扫描。本发明采用双透镜组件进行探头组装，用一个MEMS微镜便可实现两种工作模式，结合OCT成像系统可用于人体内多种器官的腔道的扫描成像并作出诊断，或用于工业领域和其它检测测量领域。

主权项

一种双工作模式MEMS 光学探头，包括带有窗口座的探头管壳和设于所述探头管壳内的探头主体，其特征在于，所述探头主体包括主体基座、带基座的MEMS微镜、与光纤连接的第一透镜组件和第二透镜组件；与外部驱动电路电连接的所述MEMS 微镜固定于所述主体基座前端；所述第一透镜组件固定于所述主体基座一侧，其通过所述MEMS微镜的横向偏转实现前向或侧前向扫描光束的前向扫描或侧前向扫描；所述第二透镜组件固定于所述主体基座另一侧，其通过所述MEMS微镜的横向偏转实现侧向扫描光束的侧向扫描。