| 发明名称 |
石墨烯镀层之制造方法;MANUFACTURING METHOD OF THE GRAPHENE LAYER |
| 摘要 |
一种石墨烯镀层之制造方法，以一溅镀制程在一基材上形成一石墨镀层，以及对该石墨镀层进行一微影制程，以使该石墨镀层薄化成一石墨烯层。 |
| 申请公布号 |
TW201441390 |
申请公布日期 |
2014.11.01 |
| 申请号 |
TW102114278 |
申请日期 |
2013.04.22 |
| 申请人 |
财团法人金属工业研究发展中心; DEVELOPMENT CENTRE |
发明人 |
黄家宏;邱松茂;锺崇仁;吴博雄 |
| 分类号 |
C23C14/06(2006.01);C23C14/34(2006.01);C23C14/58(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>张启威</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
高雄市楠梓区高楠公路1001号 |
