| 发明名称 |
蒸镀装置与有机薄膜的形成方法 |
| 摘要 |
一种蒸镀装置，其包括储气室、第一蒸发室、压力计、裂解室以及沈积室。第一蒸发室藉由第一管路与储气室连接，其中第一管路具有第一阀门。压力计藉由第二管路与储气室连接。裂解室藉由第三管路与储气室连接，其中第三管路具有第二阀门。沈积室藉由第四管路与裂解室连接。 |
| 申请公布号 |
TWI458843 |
申请公布日期 |
2014.11.01 |
| 申请号 |
TW100136277 |
申请日期 |
2011.10.06 |
| 申请人 |
财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
发明人 |
赖豊文;王仪龙;张均豪;陈泰宏 |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/12 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
一种蒸镀装置，包括：一储气室；一第一蒸发室，藉由一第一管路与该储气室连接，其中该第一管路具有一第一阀门；一压力计，藉由一第二管路与该储气室连接；一裂解室，藉由一第三管路与该储气室连接，其中该第三管路具有一第二阀门，其中该储气室配置于该第一蒸发室与该裂解室之间；以及一沈积室，藉由一第四管路与该裂解室连接。 |
| 地址 |
新竹县竹东镇中兴路4段195号 |
