基板处理装置

摘要

[课题]防止从晶圆飞散之处理液的雾气返回到晶圆。[解决手段]基板处理装置系具备：旋转杯(20)，包围保持于基板保持部(10)之基板(W)并与基板保持部一起旋转，且引导从旋转的基板飞散之处理液；及不旋转之外罩杯(31)，隔着间隙设于旋转杯的周围，具有接收由旋转杯引导之处理液的内部空间。旋转杯上端的高度系高于外罩杯之上端的高度，在旋转杯之外周面的上端部设有朝旋转罩杯之半径方向外侧突出并往圆周方向延伸的外侧突出部(20c)。外侧突出部系阻断从旋转杯(20)与外罩杯的间隙朝向基板上方而飞出之处理液的雾气。