检测超紫外线光罩之方法及装置

摘要

本发明提供一种使用低密度高能量的电子束扫描超紫外线光罩面的方法来检测超紫外线光罩，其在检测超紫外线光罩面的步骤后紧接着调节表面电荷之步骤。调节表面电荷之步骤用以中和表面电荷，而检测超紫外线光罩之步骤则用以取得超紫外线光罩的影像。本发明使用扫描式电子显微镜来产生未聚焦之入射电子束以调节表面电荷，以及聚焦之入射电子束来扫描超紫外线光罩面。

主权项

一种检测一超紫外线光罩的方法，其步骤包含：使用一入射电子束调节该超紫外线光罩之一表面的表面电荷；射入一聚焦之电子束射在该超紫外线光罩的该表面；及接收来自该超紫外线光罩面之该表面的一二次电子束以侦测任一缺陷。