用以提供超纯水的方法及系统;METHOD AND SYSTEM FOR PROVIDING ULTRAPURE WATER

摘要

本发明是有关一种用以提供超纯水给半导体制造设备的方法和系统。水是透过利用一自由基净化系统和一自由基移除系统来处理。自由基净化系统可藉一自由基先驱化合物,例如过硫酸铵来进行光化幅射。自由基移除系统可包含一还原剂的使用。超纯水可更进一步透过利用离子交换媒介和脱气装置加以处理。可利用控制系统来调整先驱化合物的添加量、光化幅射的强度、及还原剂添加入水的量。