表面缺陷检测装置及其量测方法

摘要

一种表面缺陷量测方法，包括下列步骤。提供一平面光源。以平面光源投射出具有周期变化之一图案于一基底上，且平面光源被基底反射后形成一反射图案。相对于基底沿着至少一方向等间隔地移动图案，以产生相位移，并对应于图案之相位移分别产生多个影像。撷取此些影像，并计算此些影像中各座标点的相位变化。对各座标点的相位值进行相位展开，以得到一相位展开图。对相位展开图进行平整化，以得到基底表面的缺陷图案。

主权项

一种表面缺陷量测方法，包括：提供一平面光源，该平面光源由一平面显示器提供；以该平面光源投射出具有周期变化之一图案于一基底上，且该平面光源被该基底反射后形成一反射图案；控制该平面显示器之画素单元的明暗变化以产生该图案，使该图案相对于该基底沿着至少一方向等间隔地移动，以产生相位移，并对应于该图案之相位移分别产生复数个影像；撷取该些影像，并计算该些影像中各座标点的相位变化；对各该座标点的相位值进行相位展开，以得到一相位展开图；以及对该相位展开图进行平整化，以得到该基底表面的缺陷图案。