主权项 |
一种真空镀膜机,系包含有:一平台;一抽真空装置,系内设有一真空泵、一造雾杯,其中该真空泵、造雾杯构成一第一管路,并于该抽真空装置的顶上方设有该第一管路的一进气口及一出气口;一镀膜室,系设于该抽真空装置的上方,且该镀膜室系更包含有具支撑穿孔的一隔板,其中该隔板将该镀膜室隔成一第一镀膜室、一第二镀膜室,并由一紧固件得闭合该第一镀膜室、第二镀膜室,且分别于该第一镀膜室、第二镀膜室设有一进气孔及一出气孔;另于该进气孔、出气孔分别接上一第二管路、一第三管路,并与该抽真空装置的进气口、出气口作连结;及一旋转装置,系设于该抽真空装置、镀膜室之间,使该镀膜室具有旋转的效果;藉由将该抽真空装置的第一管路及该镀膜室及其第二管路、第三管路构成一镀膜循环回路,并将电子装置入于该隔板的支撑穿孔,以利于该电子装置进行真空镀膜作业。 |