高面积效率的电子元件及其制造方法

摘要

本发明系揭露一种高面积效率的电子元件及其制造方法。本发明使用显影光阻材料作为通孔连接的绝缘体材料，本发明的较佳实施例提高矽基板上制造的电子元件的面积效率。从矽基板两面开孔而形成通孔的方法进一步提高面积效率。除了面积效率，这些方法也提供了对通孔连接的寄生阻抗更好的控制。

主权项

一电子元件,包含：一矽基板；至少一通孔，位在该矽基板上；铺设于该矽基板上的该通孔内部的一显影光阻材料；该显影光阻材料内的一个孔,且该孔延伸的深度超过该矽基板上的该通孔的一半的深度；以及一通孔导体材料,该导体材料经由该显影光阻材料内的该孔,提供由该矽基板正面通到该矽基板背面的电子连接。