发明名称 |
组合反射镜装置、光学成像系统、与用以支撑组合反射镜装置之琢面元件之方法 |
摘要 |
本发明提供一组合反射镜装置,其包含一琢面元件及一支撑元件,支撑元件系支撑琢面元件。琢面元件包含弯曲的第一支撑段,而支撑元件包含第二支撑段,第二支撑段形成一支撑边缘,其接触在接触区于中的第一支撑段以支撑琢面元件。 |
申请公布号 |
TWI459047 |
申请公布日期 |
2014.11.01 |
申请号 |
TW100124197 |
申请日期 |
2011.07.08 |
申请人 |
卡尔蔡司SMT有限公司 德国 |
发明人 |
哈杰斯 琼琴 |
分类号 |
G02B5/09;G02B7/182;G03F7/20 |
主分类号 |
G02B5/09 |
代理机构 |
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代理人 |
李宗德 台北市大安区敦化南路2段218号5楼A区 |
主权项 |
一种组合反射镜装置,包含:一琢面元件;以及一支撑元件;该支撑元件系支撑该琢面元件;该琢面元件包含一弯曲的第一支撑段;该支撑元件包含一第二支撑段;该第二支撑段系形成一支撑边缘,该支撑边缘于一接触区域中接触该第一支撑段,以支撑该琢面元件;其中该接触区域具有一第一曲率且该第二支撑段具有对应该第一曲率之一第二曲率,使得一般地一线接触(line contact)存在于该支撑边缘与该琢面元件之间。 |
地址 |
德国 |