Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung von Schwingungen

摘要

Vorrichtung mit einem schwingfähigen Feder-Masse-System (1) mit Elektrodenstrukturen (3) an zumindest einer Seite des Feder-Masse-Systems (1), insbesondere eine Kammstruktur, das mechanische Schwingungen (m) erfasst, wobei die Vorrichtung eine Abdeckung, bestehend aus einem Elektret (2), umfasst, welche das schwingfähige Feder-Masse-System (1) oder eine mit dem schwingfähigen Feder-Masse-System elektrisch verbundene Elektrode zur Eigenfrequenzabstimmung partiell überdeckt dadurch gekennzeichnet, dass zur Abstimmung der Eigenfrequenz eine Verschiebung (x) der Abdeckung (2) senkrecht zur Schwingrichtung der schwingenden Masse erfolgt.