发明名称 Vakkumpumpe, welche eine Expansionskammer hat, und Verfahren zum Erreichen eines endgültigen Druckzustands in einer Vakuumpumpe, wobei eine Expansionskammer verwendet wird
摘要 <p>Eine Vakuumpumpe (1) und ein Verfahren zum Steuern des Betriebs der Vakuumpumpe (1), welches eine Expansionskammer (500) verwendet, um ein Druckdifferential zwischen einer Einlass (140) Seite und einer Ausströmseite der Pumpe (100) zu reduzieren. Insbesondere kann die Expansionskammer (500) verwendet werden, um den Pumpenkopf (200) der Pumpe (100) von einer Tasche von relativ hohem Druckfluid zu befreien, das sich hinter einem Sitzventil anhäuft, wobei das Sitzventil über einer Ausströmöffnung (280) angeordnet ist. Die Pumpe (100) selbst kann verwendet werden, um ein Niveau von Vakuumdruck in der Expansionskammer (500) zu erzeugen. Alternativ kann ein Kolben oder ein Diaphragma verwendet werden. In jedem Fall ist die Expansionskammer (500) von der Umgebung und dem Inneren des Pumpenkopfs (200) isoliert, sobald ein Niveau von Vakuumdruck in der Expansionskammer (500) produziert ist. Dann ist der Ausströmauslass (280) von der Umgebung zu dem Inneren der Expansionskammer (500) umgeleitet.</p>
申请公布号 DE102014104459(A1) 申请公布日期 2014.10.30
申请号 DE201410104459 申请日期 2014.03.28
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES, INC. - A DELAWARE CORPORATION - 发明人 GIBSON, SCOTT V.
分类号 F04C18/02 主分类号 F04C18/02
代理机构 代理人
主权项
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