用于多晶炉的联动抽真空装置

摘要

本实用新型公开了一种用于多晶炉的联动抽真空装置，包括多组抽真空机构，多组抽真空机构和多个多晶炉一一对应，抽真空机构包括真空泵系统、防倒流电磁阀和排外阀，真空泵系统的抽真空口连接防倒流电磁阀后连接至相对应的多晶炉，真空泵系统的出气口连接排外阀后连接至抽空排外管，还包括PLC控制器、真空压力传感器和多个联动不锈钢球阀，每个抽真空机构对应一个联动不锈钢球阀，联动不锈钢球阀的一端并接在相应的多晶炉和防倒流电磁阀之间，另一端通过总抽空管并接在一起，真空压力传感器安装在总抽空管上，所述的联动不锈钢球阀和防倒流电磁阀的信号输入端均连接在PLC控制器上，所述的真空压力传感器的信号输出端连接在PLC控制器上。本实用新型能够实现一台真空泵拖动多台多晶炉的联动运行，降低多晶炉运行时的能耗。

主权项

一种用于多晶炉的联动抽真空装置，包括多组抽真空机构，多组抽真空机构和多个多晶炉(1)一一对应，抽真空机构包括真空泵系统(2)、防倒流电磁阀(3)和排外阀(4)，真空泵系统(2)的抽真空口连接防倒流电磁阀(3)后连接至相对应的多晶炉(1)，真空泵系统(2)的出气口连接排外阀(4)后连接至抽空排外管(5)，其特征在于：还包括PLC控制器、真空压力传感器(10)和多个联动不锈钢球阀(6)，每个抽真空机构对应一个联动不锈钢球阀(6)，联动不锈钢球阀(6)的一端并接在相应的多晶炉(1)和防倒流电磁阀(3)之间，另一端通过总抽空管(11)并接在一起，真空压力传感器(10)安装在总抽空管(11)上，所述的联动不锈钢球阀(6)和防倒流电磁阀(3)的信号输入端均连接在PLC控制器上，所述的真空压力传感器(10)的信号输出端连接在PLC控制器上。