| 发明名称 | 力检测元件和力转换元件 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种力检测元件和力转换元件。所述力检测元件具备金刚石基压电电阻，所述金刚石基压电电阻包含导入了作为杂质的硼的高取向性金刚石，所述金刚石基压电电阻的压电电阻系数的绝对值，大于将＜100＞方向作为主轴时的压电电阻系数π11或π12的绝对值。 | ||
| 申请公布号 | CN104122014A | 申请公布日期 | 2014.10.29 |
| 申请号 | CN201410113569.9 | 申请日期 | 2014.03.25 |
| 申请人 | 横河电机株式会社 | 发明人 | 竹中一马 |
| 分类号 | G01L1/18(2006.01)I;G01L9/06(2006.01)I;H01L29/84(2006.01)I | 主分类号 | G01L1/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 周善来;李雪春 |
| 主权项 | 一种力检测元件，其特征在于，所述力检测元件具备金刚石基压电电阻，所述金刚石基压电电阻包含导入了作为杂质的硼的高取向性金刚石，所述金刚石基压电电阻的压电电阻系数的绝对值，大于将＜100＞方向作为主轴时的压电电阻系数π11或π12的绝对值。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||