波像差校正装置及方法

摘要

一种波像差校正装置及方法。所述校正装置包括波像差测量系统，测量投影物镜的波像差；信号处理系统，对所述投影物镜的波像差进行处理并输出驱动电压信号；液体镜头，根据所述驱动电压信号产生形变进行投影物镜的波像差校正。校正方法包括波像差测量系统在像面测量波像差，计算所述投影物镜的波像差与要求值的偏差，拟合为波前误差，将所述波前误差发送到信号处理系统；所述信号处理系统将接收到的波前误差转换为液体镜头的形变偏差，根据所述液体镜头的形变偏差输出驱动直流电压；驱动直流电压使液体镜头发生形变。所述波像差校正装置及校正方法能够实现校正投影物镜波像差，该校正装置结构简单、成本低、操作容易、使用寿命长。

主权项

一种波像差校正装置，其特征在于，包括：波像差测量系统，测量投影物镜的波像差；信号处理系统，对所述投影物镜的波像差进行数据处理并输出驱动电压信号；液体镜头，设置在所述投影物镜中，接受并根据所述驱动电压信号产生物理形变，用以校正所述投影物镜的波像差；所述液体透镜是液体透镜阵列，由透明底板、透明盖板和圆形空腔形成的密闭腔室，所述密闭腔室内有不相溶的绝缘性液体和导电液体；所述透明盖板在所述密闭腔室一侧有多个网孔，所述网孔为呈网状的突起；以及所述透明底板在所述密闭腔室一侧依次覆盖有透明导电薄膜和亲水性薄膜，透明底板上的透明导电薄膜与所述网孔对应的部分由绝缘介质薄膜隔断，以形成多个单独的液体镜片。