低偏转溅射靶组件及其制造方法

摘要

描述的是用于以低偏转生产溅射靶组件的设计和方法，溅射靶组件由焊接结合到复合背衬板的靶材料制成，复合背衬板的热膨胀系数(CTE)匹配靶材料。复合背衬板是由具有不同CTE的至少两种不同材料构成的复合构造。复合背衬板在塑性变形后根据需要具有匹配靶材料的CTE，并在结合过程中具有低且期望的偏转，因此，导致低偏转和低应力的靶材料结合到复合背衬板组件。该方法包括：制造具有平坦结合表面的复合背衬板，对靶坯料和复合背衬板进行热处理以实现结合表面的期望形状，将靶焊接结合到背衬板，以及将组件慢慢冷却至室温。匹配的CTE在靶材料和背衬板两者中均消除了CTE失配的问题，并且防止该组件偏转和产生内应力。

主权项

一种生产溅射靶组件的方法，所述方法包括以下步骤：a.提供由层压组件构成的背衬板，所述层压组件包括具有第一热膨胀系数(CTE)的第一层和具有第二CTE的第二层；b.提供溅射靶，所述靶由具有第三CTE的第三材料构成；c.将所述背衬板的所述第一层焊接结合到所述靶，以提供所述溅射靶组件。