| 主权项 |
一种金属表面抛光加工装置，其特征在于，该装置包括射频电源(1)、射频电源匹配器(2)、高压直流脉冲电源(3)、脉冲电源极性调节装置(4)、等离子炬、加工保护罩(18)、控制电路(19)、工作台(20)和联动机构(24)；工作台(20)用于放置待抛光金属材料加工工件，加工保护罩(18)用于罩在待抛光金属材料加工工件(21)上，以收集废弃的抛光物和气体，加工保护罩(18)的上端留有用于加工的开口；等离子炬包括石英管(6)、石英管保护套(7)、脉冲放电电极(8)、电极绝缘保护套(9)、进气腔(10)、第一电磁振荡加载装置(11)、空心螺旋线圈、外部封装绝缘保护套(15)、外部封装绝缘保护套端盖(25)和第二电磁振荡加载装置(26)；放电电极(8)、电极绝缘保护套(9)、密封圈(13)由内至外同轴固定，并通过上预紧螺钉(14)固定安装在进气腔(10)的顶部通孔内，石英管(6)的上端通过石英管保护套(7)和下预紧螺钉(27)固定安装在进气腔(10)底部通孔内，进气腔(10)一侧还开有一个进气接口，用于与等离子体发生气体气源和化学反应气体气源连接；进气腔(10)、密封圈(13)、放电电极(8)、电极绝缘保护套(9)、石英管保护套(7)、石英管(6)均同轴放置，进气腔(10)除进气接口外内部保持密封，电极绝缘保护套(9)和石英管保护套(7)均为密封；在石英管(6)的上部安装有第一电磁振荡加载装置(11)，在石英管(6)中部安装有空心螺旋线圈，且空心螺旋线圈紧密地缠绕在石英管(6)的外壁上，空心螺旋线圈内部用于通冷却液；在进气腔(10)外安装有一个外部封装绝缘保护套(15)，并将第一电磁振荡加载装置(11)和空心螺旋线圈套在其内；在外部封装绝缘保护套(15)的下端安装外部封装绝缘保护套端盖(25)，石英管(6)底部穿过外部封装绝缘保护套端盖(25)，且其外套有第二电磁振荡加载装置(11)；等离子炬中的空心螺旋线圈的一极用于与射频电源(1)的一输出极连接，另一极用于与射频电源匹配器(2)的一端连接，射频电源匹配器(2)的另一端接入射频电源(1)的另一输出极，形成一个射频放电回路；放电电极(8)与高压直流脉冲电源阻抗(5)一端电连接，高压直流脉冲电源阻抗(5)另一端与脉冲电源极性调节装置(4)一极电连接，脉冲电源极性调节装置(4)的另外一极与高压直流脉冲电源(3)一极电连接，高压直流脉冲电源(3)的另外一极用于接入金属材料加工工件(21)表面，形成一个高压直流脉冲放电回路；控制电路(19)分别与射频电源(1)、高压直流脉冲电源(3)、脉冲电源极性调节装置(4)、第一电磁振荡加载装置、第二电磁振荡加载装置以及联动机构(24)电信号连接，以实现对它们的控制；等离子体炬安装在联动机构(24)上，由联动机构(24)按照加工路径带动等离子体炬在待抛光金属材料加工工件(21)表面移动，以实现整个金属材料复杂曲面的加工和抛光。 |
