一种等离子体刻蚀硅片夹具

摘要

本发明公开了一种等离子体刻蚀硅片夹具，包括上夹板、下夹板、螺丝螺杆以及位于上夹板与下夹板之间的垫片，所述上夹板、下夹板上设有与螺丝螺杆相配合的通孔，上夹板、下夹板通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝螺杆上，螺丝螺杆上端穿过上夹板并向外延伸，延伸部分与上夹板之间设有螺母；下端固定在下夹板的通孔内；在上夹板与下夹板上各设有一组对称的矩形长条，所述的上夹板上的矩形长条与下夹板上的矩形长条相互对立。本发明可以用更小的力使硅片叠加的更紧密减小内部的刻蚀，同时压片在硅片其他位置不施加力，不会使硅片产生隐裂，既改善了刻蚀效果同时避免了整体压力过大造成硅片损伤。

主权项

一种等离子体刻蚀硅片夹具，包括上夹板（1）、下夹板（2）、螺丝螺杆（3）以及位于上夹板（1）与下夹板（2）之间的垫片（4），所述上夹板（1）、下夹板（2）上设有与螺丝螺杆（3）相配合的通孔，上夹板（1）、下夹板（2）通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝螺杆（3）上，螺丝螺杆（3）上端穿过上夹板（1）并向外延伸，延伸部分与上夹板（1）之间设有螺母（5）；下端固定在下夹板（2）的通孔内；其特征在于，在上夹板（1）与下夹板（2）上各设有一组对称的矩形长条（6），所述的上夹板（1）上的矩形长条（6）与下夹板（2）上的矩形长条（6）相互对立。