发明名称 |
一种载晶台体传动装置及其装配、操作方法 |
摘要 |
本发明涉及一种载晶台体传动装置及其装配、操作方法,具有旋转台、载晶台、谐波传动减速装置、电机、电机连接架以及底架,其中旋转台连接于底架上,旋转台的一侧安装有电机连接架,电机连接架中安装有电机,电机的输出轴通过谐波传动减速装置连接载晶台保持架,载晶台保持架上设有载晶台及晶体位置调整机构。本发明采用谐波传动减速装置,载晶台传动平稳,噪声小,传递的扭矩增大,结构简单,减速比大,传动效率高,转台运动精度高,回差小,甚至可以实现无回差传动;寿命长,无冲击,无噪音,维修方便,便于保养、检查和更换零件;采用中空结构,方便走线,避免当线外露运动时造成线段缠绕和信号干扰等的情况发生。 |
申请公布号 |
CN104121454A |
申请公布日期 |
2014.10.29 |
申请号 |
CN201410300548.8 |
申请日期 |
2014.06.27 |
申请人 |
丹东通达科技有限公司 |
发明人 |
刘川;张所峰;胡婷婷;王勇 |
分类号 |
F16M11/04(2006.01)I;G01N23/20(2006.01)I |
主分类号 |
F16M11/04(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 |
代理人 |
张志伟 |
主权项 |
一种载晶台体传动装置,其特征在于:具有旋转台(1)、载晶台(2)、谐波传动减速装置(3)、电机(4)、电机连接架(5)以及底架(19),其中旋转台(1)连接于底架(19)上,旋转台(1)的一侧安装有电机连接架(5),电机连接架(5)中安装有电机(4),电机(4)的输出轴通过谐波传动减速装置连接载晶台保持架(13),载晶台保持架(13)上设有载晶台(2)及晶体位置调整机构。 |
地址 |
118009 辽宁省丹东市新城区仪器仪表园文庆路70-29号 |