喷墨头的喷射状态检查方法和喷墨头的喷射状态检查装置

摘要

在制造喷墨方式的电子器件时的墨水涂敷工序中，在向电子器件基材喷射墨液之前，扫描喷墨头(2)，在图像接收用高透射率测试胶片(3)上喷射墨液而形成检查用图案(7)。在测试胶片(3)的下方设置可沿与喷墨头(2)的扫描方向正交的方向移动的拍摄用相机(4)和照明(5)，一边沿与喷墨头的喷嘴的并排方向平行的方向移动拍摄用相机(4)一边拍摄检查用图案(7)。将用拍摄用相机(4)取得的检查用图案(7)的图像数据传送到图像处理装置(21)，用检查处理部(24)检查墨液喷射不合格。

主权项

一种喷墨头的喷射状态检查方法，在利用喷墨方式制造电子器件时的墨水涂敷工序中，检查从喷墨头喷射的墨液的状态，其特征在于，包括：利用上述喷墨头向图像接收用测试介质喷射上述墨液而形成检查用图案的工序；利用拍摄装置拍摄上述检查用图案的工序；以及用由上述拍摄装置取得的上述检查用图案的图像数据，由图像评价装置检查上述墨液的喷射状态的工序，且在上述的检查用图案形成工序与上述的拍摄工序之间限制上述图像接收用测试介质的移动，以使得不会由于上述图像接收用测试介质的移动而降低上述的检查工序中的检查精度，上述检查用图案由从上述喷墨头喷射的上述墨液的墨点构成；上述图像评价装置基于上述图像数据取得各个墨点的形态信息，并且将该墨点形态信息与预先设定的阈值比较，在上述墨点形态信息的值在上述阈值内时将与该墨点形态信息对应的上述喷墨头判断为正常，而在上述墨点形态信息的值在上述阈值外时将该喷墨头判断为不合格，上述墨点形态信息包含针对上述墨点的直径、面积、形状、重心位置的信息，上述图像评价装置基于上述墨点形态信息算出从上述喷墨头喷射的上述墨液的实际喷附位置与其理想喷附位置的差，算出上述喷墨头中的喷射定时的必要修正量和上述喷墨头位置的必要修正量。