| 发明名称 | 套刻结构 | ||
| 摘要 | 本实用新型揭示了一种套刻结构。包括：套刻对准标记及表征套刻对准标记归属于设定的芯片单元的归属标记；所述套刻对准标记及归属标记设置于切割道上。本实用新型的套刻结构，便捷高效，能够直接指示出套刻对准标记归属于哪个芯片单元，提高了工作效率。 | ||
| 申请公布号 | CN203894535U | 申请公布日期 | 2014.10.22 |
| 申请号 | CN201420330019.8 | 申请日期 | 2014.06.19 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 | 发明人 | 王清蕴;王跃刚 |
| 分类号 | G03F9/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种套刻结构，其特征在于，包括：套刻对准标记及表征所述套刻对准标记归属于设定的芯片单元的归属标记；所述套刻对准标记及归属标记设置于切割道上。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号 | ||