发明名称 一种生长在金属Al衬底上的LED外延片
摘要 本实用新型公开了一种生长在金属Al衬底上的LED外延片,其包括金属Al衬底、以金属Al衬底(111)晶面为外延面,在金属Al衬底上生长的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>保护层,以及以晶体外延取向关系为GaN(0001)//Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>(0001)//Al(111),在Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>保护层上由下自上生长的U-GaN薄膜层、N-GaN薄膜层、InGaN/GaN多量子阱层、p型GaN薄膜。本实用新型通过选择合适的晶体取向,Al(111)衬底上获得的高质量GaN外延薄膜,以提高了LED的发光效率。
申请公布号 CN203895485U 申请公布日期 2014.10.22
申请号 CN201420289063.9 申请日期 2014.05.30
申请人 广州市众拓光电科技有限公司 发明人 李国强
分类号 H01L33/02(2010.01)I;H01L33/12(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/02(2010.01)I
代理机构 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 代理人 汤喜友
主权项 一种生长在金属Al衬底上的LED外延片,其特征在于:其包括金属Al衬底、以金属Al衬底(111)晶面为外延面,在金属Al衬底上生长的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>保护层,以及以晶体外延取向关系为GaN(0001)//Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>(0001)//Al(111),在Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>保护层上由下自上生长的U‑GaN薄膜层、N‑GaN薄膜层、InGaN/GaN多量子阱层、p型GaN薄膜。
地址 510000 广东省广州市广州高新技术产业开发区科学城南翔一路62号厂房