发明名称 容置单元和容置架
摘要 本实用新型提供一种容置单元,通过设置顶面、底面和两侧的止挡部,实现了晶圆盒底座的竖直放置。根据晶圆盒底座的具体形状设置出止挡部之间的合适距离,使得晶圆盒底座的放置更为稳固、便捷。所述容置单元互相组合可形成容置架,针对生产线上大量的晶圆盒底座,通过容置架可以实现其有序地摆放,避免刮伤甚至摔破的情况出现。
申请公布号 CN203895420U 申请公布日期 2014.10.22
申请号 CN201420263080.5 申请日期 2014.05.21
申请人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 发明人 黄锦全;陈国新
分类号 H01L21/673(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种容置单元,适于容置片状物,其特征在于:所述容置单元包含底面、止挡壁以及第一止挡部,所述第一止挡部分别设置于所述底面的两侧,所述止挡壁凸出于所述底面并设置于所述第一止挡部的一端。
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