发明名称 |
容置单元和容置架 |
摘要 |
本实用新型提供一种容置单元,通过设置顶面、底面和两侧的止挡部,实现了晶圆盒底座的竖直放置。根据晶圆盒底座的具体形状设置出止挡部之间的合适距离,使得晶圆盒底座的放置更为稳固、便捷。所述容置单元互相组合可形成容置架,针对生产线上大量的晶圆盒底座,通过容置架可以实现其有序地摆放,避免刮伤甚至摔破的情况出现。 |
申请公布号 |
CN203895420U |
申请公布日期 |
2014.10.22 |
申请号 |
CN201420263080.5 |
申请日期 |
2014.05.21 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
黄锦全;陈国新 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种容置单元,适于容置片状物,其特征在于:所述容置单元包含底面、止挡壁以及第一止挡部,所述第一止挡部分别设置于所述底面的两侧,所述止挡壁凸出于所述底面并设置于所述第一止挡部的一端。 |
地址 |
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |