发明名称 用于背面钝化的图案化的铝背触点
摘要 本发明的实施方式一般涉及具有减少的载子复合的太阳能电池,以及用于形成所述太阳能电池的方法。所述太阳能电池具有共晶局部触点和钝化层,所述共晶局部触点和钝化层通过促进背面电场(back surface field;BSF)的形成来减少复合。在所述钝化层上设置图案化的铝背触点,以用于去除来自所述太阳能电池的电流。所述图案化的背触点通过使用比完整表面的背触点更少的材料来减少所述太阳能电池的每瓦特成本。所述形成所述太阳能电池的方法包括:在太阳能电池的背面上沉积包括氧化铝和氮化硅的钝化层,以及随后形成穿过所述钝化层的开口。图案化的铝背触点设置在所述钝化层上所述空穴的上方,并且经热处理以在所述开口内形成硅铝共晶体。
申请公布号 CN104115286A 申请公布日期 2014.10.22
申请号 CN201380009756.6 申请日期 2013.02.28
申请人 应用材料公司 发明人 D·坦纳;P·库马尔
分类号 H01L31/068(2012.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/068(2012.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 徐伟
主权项 一种太阳能电池,包含:基板;前触点,所述前触点设置在所述基板的光接收表面上;钝化层,所述钝化层设置在非光接收表面上,所述钝化层具有穿过所述钝化层的多个开口,以及所述钝化层包括:第一氧化铝子层;和第二氮化硅子层,所述第二氮化硅子层设置在所述第一氧化铝子层上;背触点,所述背触点设置在所述钝化层上和所述开口内,所述背触点包括铝并且具有网格状形状;和多个局部触点,所述局部触点形成在所述基板和设置在所述开口内的所述背触点的界面处,所述多个局部触点包括硅‑铝共晶合金。
地址 美国加利福尼亚州