发明名称 |
一种可调制带隙宽度的Fe-Si-Al系三元非晶薄膜及其制备方法 |
摘要 |
一种可调制带隙宽度的Fe-Si-Al三元非晶薄膜及其制备方法,属半导体材料技术领域。此薄膜材料具有如下通式:Fe<sub>(1-x-y)</sub>Si<sub>x</sub>Al<sub>y</sub>,其中:50at.%≤x≤70 at.%,1at.% ≤y≤11at.%,当(x+y)的总量从60 at.%到75 at.%变化时,薄膜的带隙宽度可以从0.45 eV调制到0.65eV,结构均为非晶态。该薄膜有如下优点:①Fe<sub>(1-x-y)</sub>Si<sub>x</sub>Al<sub>y</sub>薄膜是三元半导体非晶薄膜,可从0.45eV到0.65eV较大范围内调制带隙宽度,Al的作用不单可以影响带隙宽度,而且增加一个组元薄膜的非晶形成能力也会增加;②只要改变组合溅射靶中Fe<sub>4</sub>Al<sub>z</sub>合金片的个数和z值,即可方便地调整薄膜中(Si+Al)的总量,进而获得不同带隙宽度;③薄膜保持非晶态,能够保证成分和性能均匀,有效回避晶态薄膜制备中的晶格失配以及多相混杂等问题。适宜制造近红外探测器等窄带隙半导体器件。<!--1--> |
申请公布号 |
CN103014627B |
申请公布日期 |
2014.10.22 |
申请号 |
CN201310016601.7 |
申请日期 |
2013.01.17 |
申请人 |
大连理工大学 |
发明人 |
李晓娜;郑月红;董闯 |
分类号 |
C23C14/14(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/14(2006.01)I |
代理机构 |
大连星海专利事务所 21208 |
代理人 |
花向阳 |
主权项 |
一种可调制带隙宽度的Fe‑Si‑Al系三元非晶薄膜,具有如下通式:Fe<sub>(1‑x‑y)</sub>Si<sub>x</sub>Al<sub>y</sub>,其中:50at.%≤x≤70at.%,1at.%≤y≤11at.%,其特征在于:当60at.%≤(x+y)≤75at.%时,该非晶薄膜材料的带隙宽度从0.45eV增加到0.65eV,薄膜结构始终为非晶态。 |
地址 |
116024 辽宁省大连市高新园区凌工路2号 |