发明名称 |
自动化线上电浆制程系统 |
摘要 |
本发明系有关于一种自动化线上电浆制程系统,系于输送机构之进、出料端分别设有基板载入机构以及基板卸载机构,且进、出料端形成一回路以进行连续之输送动作,于基板载入及卸载机构间设有一电浆制程机构,输送机构上并设有承载基板之框体,且框体设有固定基板之定位机构;藉此,利用基板载入机构将前一制程完成之基板载入本系统中,并透过输送机构进行电浆制程处理,再以基板卸载机构将基板输送至下一制程中,不仅将电浆处理引入线上印刷电路板制程中,且框体上之定位机构将基板固定于框体上,使得基板可同时达到双面电浆处理之功效。 |
申请公布号 |
TWI457972 |
申请公布日期 |
2014.10.21 |
申请号 |
TW101137796 |
申请日期 |
2012.10.12 |
申请人 |
晖盛科技股份有限公司 |
发明人 |
许嘉元;符永豪;许家恩;张世坤;庄典桦;黄正欣 |
分类号 |
H01J37/32;H01J37/02;H01J37/18 |
主分类号 |
H01J37/32 |
代理机构 |
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代理人 |
陈丰裕 台南市安平区建平五街122号 |
主权项 |
一种自动化线上电浆制程系统,包括有:一输送机构,系具有一进料端以及一出料端,该进料端以及该出料端形成一回路以进行连续之输送动作,于该输送机构上并设有承载基板之框体,且该框体设有固定该基板之定位机构;一基板载入机构,系对应设置于该输送机构之进料端,将基板自前一个制程以机械输送方式载入至该框体中;一基板卸载机构,系对应设置于该输送机构之出料端,将基板自该框体上以机械输送方式输送至下一个制程;以及一电浆制程机构,系设置于该基板载入机构与该基板卸载机构之间,其包括有至少一真空腔体,以及使该真空腔体内产生均匀电浆之电浆产生装置,该真空腔体设有供该框体进入及离开之可移动式门体,于该框体进入该真空腔体后,该门体关上,使该真空腔体呈一密闭状态,该电浆产生装置于该真空腔体内产生均匀电浆以进行该基板之电浆制程。 |
地址 |
台南市南区新义路7号之1 TW NO. 7-1, SHIN-YI RD., TAINAN |