| 发明名称 |
微机电系统装置及制程 |
| 摘要 |
一微机电系统转换器(传感器)包含了一介电材料层，其具有一电极形成在介电材料层中。此介电材料层的一区域被用来当作一漏电路径，使其在操作时，移除该介电材料层中不要的电荷。 |
| 申请公布号 |
TWI457270 |
申请公布日期 |
2014.10.21 |
| 申请号 |
TW099104592 |
申请日期 |
2010.02.12 |
| 申请人 |
欧胜微电子 英国 |
发明人 |
珍金斯 柯林 罗伯特;霍克史特拉 提兹德克;拉敏 理查 |
| 分类号 |
B81B7/00;B81B3/00 |
主分类号 |
B81B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈志明 台北市内湖区瑞光路669号 |
| 主权项 |
一种微机电系统转换器，包含：一介电材料层；及一电极形成于该介电材料层中，该介电材料层包含了一第一介电层以及被设置在该电极的相对侧上的一第二介电层；其中，该介电层材料层的一区域适合提供一漏电路径，藉此，于操作时来移除该介电材料层中不要的电荷。 |
| 地址 |
英国 |
