发明名称 辐射敏感性树脂组成物
摘要 本发明之课题在于提供一种辐射敏感性树脂组成物,其即使于使用有酚醛清漆树脂的情况下,加热烧成后树脂膜所生的排气亦少。本发明系一种含有下述(A)~(C)之辐射敏感性树脂组成物、使用该组成物藉辐射微影术形成有绝缘膜之有机电激发光元件:;(A)酚醛清漆树脂,其系具有至少键结有甲基、苯基或羟苯基来取代将酚类彼此键结之亚甲基中之氢原子之构造的重复单位、;(B)选自苯并恶嗪(benzoxazine)化合物、碳二亚胺化合物、三嗪硫醇(triazine-thiol)化合物、及双马来醯亚胺化合物所构成群中之至少1种热反应性化合物、及;(C)辐射敏感化合物。
申请公布号 TWI457702 申请公布日期 2014.10.21
申请号 TW098107079 申请日期 2009.03.05
申请人 长濑化成股份有限公司 日本 发明人 武田贵志;小谷典久
分类号 G03F7/004;C08L61/04;C08K5/16;C08K5/37;G03F7/022;G03F7/038;H01L51/50 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 一种辐射敏感性树脂组成物,其系含有:(A)具有下述通式(I)所示之重复单位之酚醛清漆树脂、(B)选自碳二亚胺化合物、三嗪硫醇(triazine-thiol)化合物、及双马来醯亚胺化合物所构成群中之至少1种热反应性化合物、(C)辐射敏感化合物、以及(D)溶剂;(通式(I)中,R1~R3,分别独立表示氢原子、羟基、碳数1~2之烷氧基或碳数1~10之烷基,R4~R5,分别独立表示氢原子、碳数1~5之烷基、或可具有卤素原子、羟基或碳数1~5之烷基作为取代基之苯基;树脂中之通式(I)所表示之重复单位整体中,分别为复数之R1、R2、R3、R4及R5可分别为相同或相异;唯,于重复单位整体,R4及R5中之至少一部分为甲基、苯基或羟苯基)。
地址 日本