发明名称 超韧性单晶型掺硼钻石
摘要 本发明系有关单晶型掺硼CVD钻石,其具有至少约22 MPa m1/2的韧性。本发明另外系有关制造单晶型掺硼CVD钻石之方法。该钻石的生长速率可为约20至100 μm/h。
申请公布号 TWI457475 申请公布日期 2014.10.21
申请号 TW098114858 申请日期 2009.05.05
申请人 卡尼加华盛顿机构 美国 发明人 梁奇;严致学;毛禾广;汉利 罗索
分类号 C30B29/04;C30B25/10 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种单晶型掺硼钻石,系经由微波电浆化学气相沈积法长成,其具有至少约22MPa m1/2的韧性且系经由包含以下步骤之方法生长:i)将钻石晶种放在散热座中,该散热座系由具有高熔点和高导热性的材料制成以使横跨该钻石生长表面的温度梯度最小化;ii)控制该钻石生长表面的温度以致该正在生长的钻石晶体的温度为在约900至1500℃的范围内;及iii)经由微波电浆化学气相沈积法将单晶钻石长在沈积室中的钻石生长表面上,该沈积室包含5至20% CH4/H2、5至20% O2/CH4、0至20% N2/CH4及硼来源;其中该单晶钻石晶种的取向为偏离{100}平面1至15度。
地址 美国