基板处理装置及其方法

摘要

本发明提供一种可以减少装置面积的基板处理装置。本发明之基板处理装置系包含:装载埠,系可供收纳有基板的卡匣置放;制程室,系可执行对基板之制程处理;框架,系提供于前述装载埠与前述制程室之间,且在内部形成有空间;以及转运机器人,系位在前述框架之内部,用以将基板转运至前述卡匣与前述制程室之间。