| 摘要 |
<p>Ein magnetischer Antrieb (100), insbesondere für ein Bauteil in einer Vakuumanlage, umfasst ein Gehäuse (10) mit einer Gehäusewand (11) aus einem nicht-magnetischen Material, wobei das Gehäuse (10) druckdicht mit der Vakuumanlage koppelbar ist, eine Antriebseinrichtung (20), die außerhalb des Gehäuses angeordnet ist, und eine Aktoreinrichtung (30), die im Gehäuse (10) angeordnet und von einer Innenfläche (12) der Gehäusewand (11) gestützt wird, wobei mindestens eine der Antriebseinrichtung (20) und der Aktoreinrichtung (30) zur Erzeugung eines Magnetfeldes (B) eingerichtet ist, das eine Magnetfeldrichtung senkrecht zu der Gehäusewand (11) aufweist, und die Antriebseinrichtung (20) und die Aktoreinrichtung (30) durch das Magnetfeld magnetisch gekoppelt sind, die Antriebseinrichtung (20) für eine Verschiebung des Magnetfeldes in der Antriebsrichtung eingerichtet ist, und die Aktoreinrichtung (30) unter der Wirkung der Verschiebung des Magnetfeldes auf der Innenfläche (12) des Gehäuses (10) eine Rollbewegung ausführen kann, wobei die Innenfläche (12) für die Aktoreinrichtung (30) eine in der Antriebsrichtung stufenlose Abrollfläche bildet. Es wird auch eine Vakuumanlage beschrieben, die mit dem magnetischen Antrieb (100) ausgestattet ist.</p> |
