具有本体接触之鳍式场效电晶体及其形成方法;FINFET DEVICES HAVING A BODY CONTACT AND METHODS OF FORMING THE SAME

摘要

本发明涉及具有本体接触的鳍式场效电晶体(FinFET)装置及其形成方法,此处提供鳍式场效电晶体装置及形成方法。在实施例中,鳍式场效电晶体装置包含具有鳍部的半导体基板。闸极电极结构覆盖在该鳍部上面。源极和汲极环状及/或延伸区域及磊晶生长的源极区域和汲极区域形成在该鳍部中,并且邻近该闸极电极结构而设置。本体接触设置在该鳍部的接触表面上,并且该本体接触与该环状及/或延伸区域及该磊晶生长的源极区域和汲极区域分离地隔开。