制造具有分离特征、用于微机械加工和光微影的二元遮罩之绿色制程;A GREEN PROCESS FOR FABRICATION OF BINARY MASKS WITH ISOLATED FEATURES FOR MICROMACHINING AND PHOTOLITHOGRAPHY

摘要

兹揭示一种用于生产二元微加工遮罩的环境友善方法。可以提供包括水溶性聚合物材料的光学靶,该水溶性聚合物材料与紫外线辐射可透射的基板接触。可以使雷射聚焦于主遮罩上,以产生遮罩图像,该遮罩图像之后被缩小光件缩小,以提供缩小的图像。可以使该光学靶曝露于该缩小的图像,以从该主遮罩产生尺寸缩小的特征。曝露于紫外线辐射的该水溶性聚合物可从该光学靶剥蚀。后续可以使用金属蒸汽来金属化该光学靶,以涂覆剩余的聚合物材料和曝露的基板。可以使金属化的光学靶与含水流体接触,以去除金属化的聚合物材料而留下二元遮罩。