蒸发沉积设备;EVAPORATION DEPOSITION APPARATUS

摘要

一种蒸发沉积设备及其操作方法，此种蒸发沉积设备包含：一蒸发器，系由一导体制成且具有接收一蒸发材料的一第一腔室、通过第一腔室及一连接路径接收蒸气的一第二腔室、以及形成于第二腔体中以透过一点源径向释放蒸气的一出口，一反射喷嘴，系由一导体制成且具有连接至此出口及具有一增加的直径的一通孔，一感应线圈，用以围绕反射喷嘴及蒸发器，以及一交流电源，用以将交流电提供至感应线圈。感应线圈感应加热蒸发器及反射喷嘴以蒸发此蒸发材料，并且蒸气通过反射喷嘴释放出。