形成金属氧化物薄膜用的涂布液、金属氧化物薄膜、场效电晶体及制造场效电晶体的方法;COATING LIQUID FOR FORMING METAL OXIDE FILM, METAL OXIDE FILM, FIELD-EFFECT TRANSISTOR, AND METHOD FOR PRODUCING FIELD-EFFECT TRANSISTOR

摘要

提供一种形成金属氧化物薄膜用的涂布液，其包含：一铟化合物；选自由一镁化合物、一钙化合物、一锶化合物以及一钡化合物所组成的群组的至少其中一种；选自由一包含氧化数的最大正值为IV的金属的化合物、一包含氧化数的最大正值为V的金属的化合物、以及一包含氧化数的最大正值为VI的金属的化合物所组成的群组的至少其中一种；以及一有机溶剂。