检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的装置和方法

摘要

本申请涉及检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的装置和方法。一种用于检测使用机械臂（114）的机械操作中的位置偏移的装置（100），所述机械臂用于在半导体基体（116）上进行操作，所述机械臂和所述半导体基体被配置为彼此之间进行相对运动，所述装置包括：输入端（102），所述输入端用于接收来自安装在所述机械臂上的传感器（124）的输入信号（128）；检测器（104，106）用于通过输入信号进行机械臂和半导体基体之间存在预定距离（302）的检测；其中所述装置被配置为通过所述检测来确定是否存在位置偏移。

主权项

一种用于检测使用机械臂的机械操作中的位置偏移的装置，所述机械臂用于在半导体基体上进行操作，所述机械臂和所述半导体基体被配置为彼此之间进行相对运动，所述装置包括：输入端，所述输入端用于接收来自安装在所述机械臂上的传感器的输入信号；检测器，所述检测器通过所述输入信号进行所述机械臂和所述半导体基体之间存在预定距离的检测；其中，所述装置被配置为通过所述检测来确定是否存在位置偏移。