发明名称 |
应变解耦传感器 |
摘要 |
一种传感器,其包括衬底(16)和锚定至所述衬底(16)的传感器元件(20),所述衬底(16)和传感器元件(20)的材料不同并且具有不同的热膨胀系数,所述传感器元件(20)和衬底(16)每个具有彼此基本上平行布置的一般平坦的表面;所述传感器还包括间隔物(26),所述间隔物(26)被定位以便从所述衬底(16)的至少部分间隔所述传感器元件(20)的至少部分,其中所述间隔物(26)的面积比所述衬底(16)表面和所述传感器元件(20)表面中较小的所述面积小得多。 |
申请公布号 |
CN104105656A |
申请公布日期 |
2014.10.15 |
申请号 |
CN201380004817.X |
申请日期 |
2013.01.04 |
申请人 |
大西洋惯性系统有限公司 |
发明人 |
C.P.费尔 |
分类号 |
B81B7/00(2006.01)I;G01C19/5684(2006.01)I |
主分类号 |
B81B7/00(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
申屠伟进;陈岚 |
主权项 |
一种传感器,其包括衬底和锚定至所述衬底的传感器元件,所述衬底和传感器元件的材料不同并且具有不同的热膨胀系数,所述传感器元件和衬底每个具有彼此基本上平行布置的一般平坦的表面;所述传感器还包括单个间隔物,由此所述传感器元件锚定在所述衬底上方,所述间隔物被定位以便从所述衬底的至少部分间隔所述传感器元件的至少部分,其中所述间隔物的面积比所述衬底表面和所述传感器元件表面中较小的所述面积小得多。 |
地址 |
英国德文郡 |