高真空电弧泵及其抽气机组

摘要

本发明属于真空获得技术领域，尤其涉及一种高真空电弧泵及其抽气机组。本发明在传统电弧泵的阴极靶中掺入高蒸汽压材料，高蒸汽压材料为镁、铝、鋅、钙或其中任意至少两种的混合，高蒸汽压材料在阴极靶中的重量百分比为0.5~80%，大幅度拓展了电弧泵的高真空工作范围。本发明在电弧泵的阴极靶和可开合的面板之间设有金属挡板，金属挡板与周围部件绝缘，消除了面板的温升，显著降低面板吸附气体的解吸，进一步提高了电弧泵的极限真空。另外，本发明电弧泵设有阴极靶消耗预警措施，有效避免了电弧泵冷却水套烧穿事故，提高了电弧泵运行的可靠性。

主权项

一种高真空电弧泵，包括泵壳和电源，所述泵壳上设有泵口，所述泵壳一侧的可开合的面板上固设有基座，所述基座与所述面板绝缘，所述基座与所述电源负极电连接，所述基座内侧端与阴极靶固定连接，所述电源正极与所述泵壳电连接，其特征在于，所述泵壳内还设有位于所述阴极靶和所述面板之间的金属挡板，所述金属挡板与周围部件绝缘。