| 主权项 |
一种微机械陀螺驱动方法，其特征在于它的步骤如下：1）通过交流驱动信号产生模块产生两路相互正交的信号，并将其中一路作为交流驱动信号，通过弹性系数补偿模块产生弹性系数补偿信号，通过阻尼系数补偿模块产生阻尼系数补偿信号，所述的交流驱动信号、弹性系数补偿信号和阻尼系数补偿信号经相加后作为交流信号输入至静电驱动信号产生模块； 2）静电驱动信号产生模块根据输入的交流信号和模块自身的直流偏置来产生静电驱动信号，输入至微机械陀螺以产生静电驱动力来驱动微机械陀螺振动；3）信号检测模块检测微机械陀螺随静电力作用而产生的振动信号，将振动信号转换成可测量的电压信号，该电压信号具有与交流驱动信号相同的频率；4）幅度和相位提取模块对信号检测模块检测的电压信号进行幅度和相位提取，得到相位信号和幅度信号，将相位信号输入至弹性系数补偿模块，将幅度信号输入至阻尼系数补偿模块， 所述弹性系数补偿模块是将如步骤4）所述的相位信号与驱动模态谐振时的参考相位进行对比，得到误差信号，将误差信号通过比例‑积分控制来自适应地确定反馈系数，并将该反馈系数调制在如步骤1）所述的与交流驱动信号正交的信号上，产生弹性系数补偿信号，所述弹性系数补偿模块产生的弹性系数补偿是通过反馈与驱动位移信号相位相同的静电力来实现，用以补偿弹性系数的扰动，保持微机械陀螺驱动模态的谐振频率不变，所述阻尼系数补偿模块是将如步骤4）所述的幅度信号与驱动模态谐振时的参考幅度进行对比，得到误差信号，将误差信号通过比例‑积分控制来自适应地确定反馈系数，并将该反馈系数调制在如步骤1）所述的交流驱动信号上，产生阻尼系数补偿信号，所述阻尼系数补偿模块产生的阻尼系数补偿是通过反馈与驱动速度信号相位相同的静电力来实现，用以补偿阻尼系数的扰动，保持微机械陀螺驱动模态的品质因子不变。 |
